CMOS图像传感器及其制造方法
专利权的终止
摘要

一种CMOS图像传感器包括光电二极管区和逻辑区,光电二极管区包括复位晶体管与光电二极管,光电二极管具有第一极与第二极,第一极具有环绕场氧化区下方及侧壁的掩埋区,以及至掩埋区上端向复位晶体管方向延伸的针形区。相应,CMOS图像传感器的制造方法包括:形成限定场区和有源区的沟槽;形成掺杂区;在沟槽及掺杂区的下方注入第一杂质离子形成光电二极管的第一极的掩埋区及针形区;在沟槽内填入硅氧化物质形成场氧化区;在第一极的上方注入第二杂质离子形成光电二极管的第二极。本发明的掩埋区将光电二极管的节与场氧化区底部和边缘隔离,从而消除了场氧化区底部和边缘可能存在的暗电流,针形区由于没有被场氧化区覆盖,而对光具有极高的敏感度。

基本信息
专利标题 :
CMOS图像传感器及其制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101043043A
申请号 :
CN200610024869.5
公开(公告)日 :
2007-09-26
申请日 :
2006-03-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
杨建平霍介光辛春艳蔡巧明吴永皓
申请人 :
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 :
201203上海市浦东新区张江路18号
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
逯长明
优先权 :
CN200610024869.5
主分类号 :
H01L27/146
IPC分类号 :
H01L27/146  H01L21/8234  
法律状态
2020-03-10 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 27/146
申请日 : 20060320
授权公告日 : 20081210
终止日期 : 20190320
2011-12-14 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101238306813
IPC(主分类) : H01L 27/146
专利号 : ZL2006100248695
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 无
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
登记生效日 : 20111108
2008-12-10 :
授权
2007-11-21 :
实质审查的生效
2007-09-26 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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