本实用新型涉及一种硅片转移装置，其特征在于，可上下移动的托盘与托盘升降伺服机构连接，硅片叠层设于托盘上，至少一对硅片高度位置探测信号发送器、硅片高度位置探测信号接收器分别设于硅片叠层两边的同一水平线上，使得硅片叠层最上面的硅片的起始高度低于硅片高度位置探测信号发送器、硅片高度位置探测信号接收器的高度，硅片高度位置探测信号发送器、硅片高度位置探测信号接收器分别与高度位置信号处理机构连接，至少一对喷射气流控制头对称设于最上面硅片和下面一片硅片的界面上，并高于一对硅片高度位置探测信号发送器、硅片高度位置探测信号接收器的位置，吸爪设于硅片叠层的上端。本实用新型的优点是能提高生产效率，减少硅片破碎。