用于维护具有机器人的等离子体处理系统的装置
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摘要
公开了一种用于对包括对接端口的等离子体处理系统执行一组服务程序的机器人装置。该装置包括平台和连接到平台的对接探针，其中，对接探针被配置为与对接端口对接。该装置还包括连接到平台的机械手臂，和连接到机械手臂的工具，并且该机械手臂还被配置为充分执行一组服务程序。该装置还包括连接到平台的计算机，其中，该计算机还被配置为执行一组服务程序，以及其中，当对接探针对接到对接端口时，由该工具执行一组服务程序。
基本信息
专利标题 ：
用于维护具有机器人的等离子体处理系统的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101175612A
申请号 ：
CN200680010522.3
公开（公告）日 ：
2008-05-07
申请日 ：
2006-03-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
安德鲁三世·D·贝利
申请人 ：
朗姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
余刚
优先权 ：
CN200680010522.3
主分类号 ：
B25H1/00
IPC分类号 ：
B25H1/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25H
车间设备，例如用于工件划线；车间储存设备
B25H1/00
工作台；用于放置轻便工具或工件的轻便台座或支架，在台座或支架上操作工作
法律状态
2013-03-20 ：
授权
2008-07-02 ：
实质审查的生效
2008-05-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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