本发明是一种用于容纳对微粒敏感的衬底的盒，用于在所述盒的外部与内部环境之间提供均压并用于使靠近所述对微粒敏感的衬底的内部气态流体流最小化。所述盒包含主盒、以及位于封盖中的隔膜，所述隔膜具有正常的未挠曲位置，所述隔膜可相对于所述正常的未挠曲位置发生挠曲。较佳地，所述盒包含设置于所述主盒中的辅助盒，以界定用于容纳所述对微粒敏感的衬底的第二外壳。所述盒可包含过滤器，所述过滤器附装至所述盒并在所述盒的外部与所述盒的内部之间提供气态流体连通。所述隔膜可响应于快速的压力变化，而所述过滤器可响应于较慢的压力变化并使所述隔膜能够返回至其正常的未挠曲位置。