等离子处理装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种等离子处理装置，其特征在于，包括流入工序气体的气体流入部、和将流入的工序气体利用一对电极板进行放电而对基板进行等离子处理的等离子源，所述一对电极板是组装了多个单位电极单元的一对单元型电极板。
基本信息
专利标题 ：
等离子处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101203087A
申请号 ：
CN200710168160.7
公开（公告）日 ：
2008-06-18
申请日 ：
2005-11-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
申寅澈张圣基金兑昱柳炅昊郑修然
申请人 ：
K.C.科技股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
李香兰
优先权 ：
CN200710168160.7
主分类号 ：
H05H1/24
IPC分类号 ：
H05H1/24 H01L21/00
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法律状态
2012-03-14 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101295325341
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利申请号 : 2007101681607
公开日 : 20080618
号牌文件序号 : 101295325341
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利申请号 : 2007101681607
公开日 : 20080618
2008-08-13 ：
实质审查的生效
2008-06-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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