高频电力电路、等离子处理装置、及等离子处理方法
公开
摘要
一种高频电力电路，包含第一天线电路(Lin,VCin1,VCin2)、第二天线电路(Lo,VCo1,VCo2)及控制部(51)。第一天线电路包含用于生成等离子的第一天线(Lin)、第一分配用电容器(VCin1)及第一可变电容器(VCin2)。第二天线电路包含用于生成等离子的第二天线(Lo)、第二分配用电容器(VCo1)及第二可变电容器(VCo2)。控制部依据生成等离子时的第一天线与第一可变电容器的串联部的电流与电压的相位差的检测结果，以该相位差变小的方式设定第一可变电容器的电容值。此外，控制部依据生成等离子时的第二天线与第二可变电容器的串联部的电流与电压的相位差的检测结果，以该相位差变小的方式设定第二可变电容器的电容值。
基本信息
专利标题 ：
高频电力电路、等离子处理装置、及等离子处理方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114303227A
申请号 ：
CN202180005049.4
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-08-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
土居谦太中村敏幸
申请人 ：
株式会社爱发科
申请人地址 ：
日本国神奈川县茅崎市萩园2500番地
代理机构 ：
上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
洪磊
优先权 ：
CN202180005049.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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