一种用于硅片无蜡抛光的整体式抛光陶瓷盘

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片无蜡抛光的整体式抛光陶瓷盘。它具有板式陶瓷盘，在板式陶瓷盘上设有陶瓷模板。所述的板式陶瓷盘与陶瓷模板用烧结或平面陶瓷滚珠轴承固定，做成固定式。板式陶瓷盘与陶瓷模板用螺钉和螺栓固定，做成可拆卸式。陶瓷模板孔内边缘设有塑料、橡胶或树脂材料的防护层。陶瓷模板孔内的板式陶瓷盘上设有小孔。本实用新型省去了模板，而且根据现在陶瓷生产工艺，陶瓷式模板比塑料模板更能达到更高的精度，使平整度更好，不变形，不需要粘贴，极大地提高了生产效率，降低了抛光成本，改善了抛光片的质量。

基本信息

专利标题：

一种用于硅片无蜡抛光的整体式抛光陶瓷盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720108329.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-04-19

授权号：

CN201077033Y

授权日：

2008-06-25

发明人：

刘培东张世波

申请人：

刘培东;张世波

申请人地址：

310013浙江省杭州市玉古路147号浙江大学求是村黄鸿年科技综合楼720室

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司

代理人：

张法高

优先权：

CN200720108329.5

主分类号：

B24D13/14

IPC分类号：

B24D13/14

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B24

磨削；抛光

B24D

磨削、抛光或刃磨用的工具

B24D13/00

具有挠性作用的工作部分的轮，如抛光轮；及其固定件

B24D13/14

用其前面作用的

法律状态

2014-06-11 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101582898348
IPC(主分类) : B24D 13/14
专利号 : ZL2007201083295
申请日 : 20070419
授权公告日 : 20080625
终止日期 : 20130419

2010-11-03 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101036986721
IPC(主分类) : B24D 13/14
专利号 : ZL2007201083295
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 刘培东
变更后权利人 : 浙江东源电子有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 310013 浙江省杭州市玉古路147号浙江大学求是村黄鸿年科技综合楼720室
变更后权利人 : 314200 浙江省嘉兴市平湖经济开发区平湖大道东侧繁荣路北侧3号楼2024室
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 张世波
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20100917

2008-06-25 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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