一种用于角抛光硅片样品的设备
授权
摘要
本实用新型实施例公开了一种用于角抛光硅片样品的设备，所述设备包括：具有用于抛光所述硅片样品的抛光面的抛光板；设置在所述抛光板的抛光面上的用于夹持所述硅片样品的夹具；相对于所述抛光板固定地设置的马达；连接所述马达的输出轴与所述夹具的连接机构，所述连接机构构造成使得所述夹具能够由所述马达驱动进行旋转的同时能够远离所述马达朝向所述抛光板的抛光面移动。
基本信息
专利标题 ：
一种用于角抛光硅片样品的设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022321034.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-16
授权号 ：
CN213258836U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
吴永林金铉洙
申请人 ：
西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区西沣南路1888号
代理机构 ：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李斌栋
优先权 ：
CN202022321034.4
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B41/06 B24B47/12 G01N1/32
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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