基板处理装置及其控制装置
专利权的终止
摘要
通过允许批次向替代处理部调换，即使在处理部发生异常的情况下也可以防止运转率下降。对于按照对发生异常的优先处理部指定替代处理部的工艺处方进行处理的第2批次，以调换到替代处理部进行第2批次的处理的方式，控制部(25)变更时序表，同时控制部(25)按照该变更后的时序表继续执行第2批次的处理。因此，由于即使优先处理部发生异常，也不必使从第1批次到第3批次的所有批次停止处理，因而可以防止基板处理装置的运转率下降。
基本信息
专利标题 ：
基板处理装置及其控制装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720140104.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-03-27
授权号 ：
CN201032627Y
授权日 ：
2008-03-05
发明人 ：
山本真弘
申请人 ：
大日本网目版制造株式会社
申请人地址 ：
日本京都
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
何立波
优先权 ：
CN200720140104.8
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/67 H01L21/306 H01L21/02 B08B3/00 G05B19/418
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2017-04-26 ：
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101716386864
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007201401048
申请日 : 20070327
授权公告日 : 20080305
终止日期 : 无
号牌文件序号 : 101716386864
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007201401048
申请日 : 20070327
授权公告日 : 20080305
终止日期 : 无
2008-03-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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