一种基片清洗装置，是一种专门为实验室设计的基片清洗装置，可以放置并清洗石英片、透明导电玻璃(ITO)基片、硅片等。尺寸从1cm×1cm、3cm×4cm、10cm×10cm均可，并可同时清洗1cm×1cm的基片150片。可以根据实际需要，配套拆装清洗装置中的不同衬底和隔层，以供放置不同尺寸的基片，达到灵活多用的效果。本实用新型遵循“紧密节约”的设计理念，使得容器中最大容纳基片数量得到大幅提高，减少容器内空间闲置，节省溶液。外层容器装置材料采用石英和四氟聚合物等抗酸碱材料，扩容了可使用清洗溶液的范围。上下开口，可以配套使用循环抽水机提高效率，使得本装置可以作为保存基片的装置置于真空干燥器中。