本实用新型涉及一种基片冷却装置，该基片冷却装置包括：密封的基片冷却室；用于在基板冷却室中支撑并传送基片的基片支撑架；至少一个冷却板以及对至少一个冷却板进行冷却的冷却系统；其中该至少一个冷却板和基片之间成一定间隙，基片冷却装置进一步设置有用于输入导热气体的气体管道。通过采用上述结构，将基片和冷却板间隔设置并利用导热气体的对流将基板上的热量迅速带到冷却板上，由此对基片进行快速冷却，同时冷却时冷却源不需要接触基片，从而防止了基片表面划伤，提高了产品的良品率。