本实用新型涉及一种晶圆背面打标机的晶圆进出闸门装置，安装在晶圆背面打标机的前后区隔板上，所述的晶圆进出闸门装置包括安装在隔板闸门开口两侧上的气动滑台，气动滑台与闸门相连接；隔板上还设置有一个用于控制滑台开闭的电磁锁定装置；隔板闸门开口处设置有闸门开口位置传感器；闸门开口位置传感器和电磁锁定装置均与晶圆背面打标机的PC装置电连接。首先，由于采用气动滑台来控制闸门的开闭，因此闸门的开启速度大大加快，提高了生产效率；其次，利用传感器对闸门的开启程度进行监控，机械手的进出精度大大提高；另外，通过电磁锁定装置可有效地保证打标过程当中安全性。