太阳能晶片无接触式测试系统
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种太阳能晶片无接触式测试系统,一用以承载太阳能晶片的承片台,一对探头分别测量晶片的上、下表面与探头之间的距离,据以计算晶片厚度。一对涡流传感器用以测量晶片的涡流场变化量,据此得到晶片的导电率并结合晶片厚度计算出晶片电阻率。此外,厚度偏差可通过计算晶片在探头传感器之间移动的过程中,测得的不同点的厚度值而得到。系统还可响应数据保存开关而保存测量数据。本测试系统具有无接触、一次性测量、快速、准确等优点。

基本信息
专利标题 :
太阳能晶片无接触式测试系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820054803.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-01-17
授权号 :
CN201166564Y
授权日 :
2008-12-17
发明人 :
李福荣邓超明曹红萍
申请人 :
上海星纳电子科技有限公司
申请人地址 :
201108上海市虹梅南路3609号4号楼二楼
代理机构 :
上海专利商标事务所有限公司
代理人 :
陈亮
优先权 :
CN200820054803.5
主分类号 :
G01D21/02
IPC分类号 :
G01D21/02  G01B7/06  G01R27/02  H01L21/66  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01D
非专用于特定变量的测量;不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置;计费设备;非专用于特定变量的传输或转换装置;未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
G01D21/02
用不包括在其他单个小类中的装置来测量两个或更多个变量
法律状态
2017-03-08 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101706175149
IPC(主分类) : G01D 21/02
专利号 : ZL2008200548035
申请日 : 20080117
授权公告日 : 20081217
终止日期 : 20160117
2008-12-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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