一种晶片测试头
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶片测试头，包括：一座体，内部设有一光通道及一气道，底部设有一接触垫，气道连通光通道能产生负压吸力，接触垫具有一窗口，窗口为光通道出口；一光源，设置于座体内，面对光通道投射光线至窗口；藉此座体以接触垫与晶片接触，达到能取放晶片、施压及在测试时提供光线予晶片的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种晶片测试头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021110632.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-16
授权号 ：
CN212084947U
授权日 ：
2020-12-04
发明人 ：
阙石男
申请人 ：
苏州艾方芯动自动化设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区渭塘镇澄阳路3366号
代理机构 ：
苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王友生
优先权 ：
CN202021110632.0
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2020-12-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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