本实用新型提供一种集成电路缺陷定位测试系统，属于电子测试设备领域，涉及一种对集成电路缺陷进行定位测试的系统。本实用新型所描述的系统中，主要包括有：控制分析单元，激光发生器，激光分配器，激光扫描装置，声波震荡发生器，光学显微装置，样品加电模块，微光探测装置，定额电流电压测量装置，定额电压电流测量装置，以及减震台与暗室箱体等。利用本实用新型，可直接对集成电路的各种不同类型缺陷，实现直观的物理位置缺陷定位功能，能够及时、准确地发现集成电路的缺陷，从而改进产品质量、加快研发速度、提高生产工艺水平。