一种基底处理设备，基底处理设备包括：具有传输臂的晶圆传输设备，传输臂包括端部执行器；臂姿态确定性特征，臂姿态确定性特征与基底传输设备构成整体并且被设置为使得基底处理设备的静态检测传感器在传输臂径向运动的情况下在传输中检测至少一个臂姿态确定性特征的至少一个边缘；以及控制器，控制器被配置为使得对边缘的检测实现对比例因子的确定，比例因子在传输中识别传输臂的至少热膨胀变化，并且包括运动效应解析器，运动效应解析器被配置为从在传输中对边缘的检测来确定所确定的比例因子和与传输臂的每个不同连杆相应的每个不同离散变化之间的离散关系，从而在传输中确定传输臂的至少热膨胀变化。