与外涂布光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物
授权
摘要
在优选的方面，提供了有机涂料组合物，特别是与外涂光致抗蚀剂一起使用的抗反射涂料组合物，其包含1)一个或多个经取代尿嘧啶部分；和2)一个或多个反应的二羧酸基团。
基本信息
专利标题 ：
与外涂布光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109143783A
申请号 ：
CN201810563354.5
公开（公告）日 ：
2019-01-04
申请日 ：
2018-06-02
授权号 ：
CN109143783B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
李惠元沈载桓S·J·林朴琎洪Y·R·申
申请人 ：
罗门哈斯电子材料韩国有限公司
申请人地址 ：
韩国忠清南道
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
陈哲锋
优先权 ：
CN201810563354.5
主分类号 ：
G03F7/09
IPC分类号 ：
G03F7/09 C09D5/00 C09D167/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
G03F7/09
以细部结构为特征的，例如，基片层、辅助层
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2019-01-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/09
申请日 : 20180602
申请日 : 20180602
2019-01-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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