半导体结构及其制造方法
授权
摘要
本发明公开一种半导体结构及其制造方法，该半导体结构包括基底、双极结晶体管、第一内连线结构与第二内连线结构。基底具有彼此相对的第一面与第二面。双极结晶体管位于基底的第一面。双极结晶体管包括集极、基极与射极。集极设置在基底中。基极设置在基底上。射极设置在基极上。第一内连线结构位于基底的第一面，且电连接至基极。第二内连线结构位于基底的第二面，且电连接至集极。第一内连线结构更延伸至基底的第二面。第一内连线结构与第二内连线结构分别在基底的第二面电连接至外部电路。上述半导体结构可具有较佳的整体效能。
基本信息
专利标题 ：
半导体结构及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110660734A
申请号 ：
CN201810686366.7
公开（公告）日 ：
2020-01-07
申请日 ：
2018-06-28
授权号 ：
CN110660734B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
马瑞吉杨国裕
申请人 ：
联华电子股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
陈小雯
优先权 ：
CN201810686366.7
主分类号 ：
H01L21/8222
IPC分类号 ：
H01L21/8222 H01L21/8234 H01L27/082 H01L27/088
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/77
在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理
H01L21/78
把衬底连续地分成多个独立的器件
H01L21/82
制造器件，例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/822
衬底是采用硅工艺的半导体的
H01L21/8222
双极工艺
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-02-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/8222
申请日 : 20180628
申请日 : 20180628
2020-01-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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