一种通孔隔离法酸性电镀铜工艺及其装置
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摘要

本发明公开了一种通孔隔离法酸性电镀铜工艺,包含以下步骤:(1)使用带通孔的间隔物将电镀槽分隔为阳极区和阴极区,并在阳极区中设置电镀液搅拌装置;(2)分别配制阳极电镀液和阴极电镀液将阳极电镀液和阴极电镀液分别倒入阳极区和阴极区中,并在阳极区中加入金属铜和/或铜氧化物;(3)将不溶性阳极作为电镀阳极与电源正极相连接并浸入阳极区中的阳极电镀液中,将阴极镀件与电源负极相连接并浸入阴极区中的阴极电镀液中;接通电源,并开启阳极区中的电镀液搅拌装置,进行电镀。所述工艺能解决现有不溶性阳极的酸性电镀铜工艺中存在的问题,不但并能提高电镀质量,节省电镀生产成本,而且还绿色环保。本发明还公开了一种适用于通孔隔离法酸性电镀铜工艺的装置。

基本信息
专利标题 :
一种通孔隔离法酸性电镀铜工艺及其装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109056002A
申请号 :
CN201810799584.1
公开(公告)日 :
2018-12-21
申请日 :
2018-07-19
授权号 :
CN109056002B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
叶旖婷
申请人 :
叶旖婷
申请人地址 :
中国澳门上海街148-182号海冠中心19H
代理机构 :
广州知友专利商标代理有限公司
代理人 :
刘小敏
优先权 :
CN201810799584.1
主分类号 :
C25D3/38
IPC分类号 :
C25D3/38  C25D17/00  C25D21/18  C25D21/10  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C25
电解或电泳工艺;其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法;电铸;工件的电解法接合;所用的装置
C25D3/00
电镀;其所用的镀液
C25D3/02
溶液
C25D3/38
铜的
法律状态
2022-04-15 :
授权
2020-06-02 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C25D 3/38
申请日 : 20180719
2018-12-21 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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