一种多晶硅还原炉内硅棒生长速率预估模型
授权
摘要

本发明公开了一种多晶硅还原炉内硅棒生长速率预估模型,包括数据采集及预处理模块,用于通过传感器采集与硅棒生长速率相关的数据,并对采集的数据进行数据清洗;数据集筛选模块,用于对数据采集模块经过数据采集、数据清洗后的数据集进行筛选,得到训练集和测试集;训练和评估模块,用于对梯度提升决策树模型进行训练,利用平均相对误差以及合格率对模型进行评估,待预测模块,用于输入待预测特征向量;预测结果模块,用于将所述的待预测特征向量输入到预测模型中,输出预测结果。本发明摒弃了传统的理论研究中复杂化学反应对生长速率的影响,不用考虑繁复的化学反应,实现了对多晶硅生长速率的预估,为提高生产效率,缩短生产周期提供指导。

基本信息
专利标题 :
一种多晶硅还原炉内硅棒生长速率预估模型
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN109543916A
申请号 :
CN201811454413.1
公开(公告)日 :
2019-03-29
申请日 :
2018-11-30
授权号 :
CN109543916B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
龙时雨杨海东徐康康朱成就
申请人 :
广东工业大学
申请人地址 :
广东省广州市大学城外环西路100号
代理机构 :
广东广信君达律师事务所
代理人 :
杨晓松
优先权 :
CN201811454413.1
主分类号 :
G06Q10/04
IPC分类号 :
G06Q10/04  G06Q50/04  G06N3/08  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06Q
专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法;其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10/00
行政;管理
G06Q10/04
预测或优化,例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
法律状态
2022-04-08 :
授权
2019-04-23 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06Q 10/04
申请日 : 20181130
2019-03-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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