薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法

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摘要

本发明公开薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法，所述薄膜晶体管有源层墨水包括金属氧化物前驱体盐，醇醚类有机溶剂和粘度调节剂。利用高粘度醇类溶剂调节墨水的整体粘度，较高粘度的墨水能够阻碍干燥时溶质从中间向边缘的移动，从而减弱“咖啡环”现象，最终得到均匀的薄膜。醇类溶剂的沸点低于300℃，可以在高温退火的工艺中将其完全除去，从而不影响氧化物薄膜的性能。

基本信息

专利标题：

薄膜晶体管有源层墨水及一种薄膜晶体管的制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111370495A

申请号：

CN201811603496.6

公开（公告）日：

2020-07-03

申请日：

2018-12-26

授权号：

CN111370495B

授权日：

2022-05-03

发明人：

黄航

申请人：

TCL集团股份有限公司

申请人地址：

广东省惠州市仲恺高新技术开发区十九号小区

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

王永文

优先权：

CN201811603496.6

主分类号：

H01L29/786

IPC分类号：

H01L29/786 H01L29/24 H01L21/34 H01L21/368