从回收抗蚀剂剥离剂回收二甲基亚砜的方法
授权
摘要
一种二甲基亚砜的回收方法，其包括使包含选自二醇醚、二醇和三醇中的至少1种化合物以及二甲基亚砜的回收抗蚀剂剥离剂与水接触并进行蒸馏的工序。
基本信息
专利标题 ：
从回收抗蚀剂剥离剂回收二甲基亚砜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110869347A
申请号 ：
CN201880046004.X
公开（公告）日 ：
2020-03-06
申请日 ：
2018-07-31
授权号 ：
CN110869347B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
马屋原邦男田村耕司竹田明展
申请人 ：
株式会社可乐丽
申请人地址 ：
日本国冈山县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
张毅群
优先权 ：
CN201880046004.X
主分类号 ：
C07C315/06
IPC分类号 ：
C07C315/06 C07C317/04
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C07
有机化学
C07C
无环或碳环化合物
C07C315/00
砜的制备；亚砜的制备
C07C315/06
分离；纯化；稳定化；添加剂的使用
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2020-07-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C07C 315/06
申请日 : 20180731
申请日 : 20180731
2020-03-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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