基于银纳米线-石墨烯/氧化镓纳米柱的光电探测结构、器件及...
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摘要

本发明公开了一种基于银纳米线‑石墨烯/氧化镓纳米柱的光电探测结构及相应的制备方法,以及光电探测器。所述结构包括:衬底、形成于所述衬底上的氧化镓纳米柱、形成于所述氧化镓纳米柱上的银纳米线‑石墨烯复合薄膜。所述方法包括在衬底上生成氧化镓纳米柱,在所述氧化镓纳米柱上转移形成石墨烯薄膜,在所述石墨烯薄膜上附着银纳米线。本发明具有制备工艺简单、成本低廉、易大规模生产等优点。本发明的光电探测器具有自供电、光谱选择性好的特点,对日盲紫外光具有响应度大、灵敏度高等特性。

基本信息
专利标题 :
基于银纳米线-石墨烯/氧化镓纳米柱的光电探测结构、器件及制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110112233A
申请号 :
CN201910393502.8
公开(公告)日 :
2019-08-09
申请日 :
2019-05-13
授权号 :
CN110112233B
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
郭道友刘琦王顺利李培刚唐为华
申请人 :
北京镓族科技有限公司
申请人地址 :
北京市顺义区仁和镇顺强路一号一幢2号厂房2层西侧北部
代理机构 :
北京清诚知识产权代理有限公司
代理人 :
乔东峰
优先权 :
CN201910393502.8
主分类号 :
H01L31/0224
IPC分类号 :
H01L31/0224  H01L31/032  H01L31/0352  H01L31/102  H01L31/18  
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法律状态
2022-04-19 :
授权
2021-09-03 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : H01L 31/0224
登记生效日 : 20210824
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 北京镓族科技有限公司
变更后权利人 : 唐为华
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 101300 北京市顺义区仁和镇顺强路一号一幢2号厂房2层西侧北部
变更后权利人 : 100088 北京市海淀区罗庄西里碧兴园1号楼2707室
2019-09-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0224
申请日 : 20190513
2019-08-09 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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