一种生物电子芯片及其制作方法
授权
摘要
本申请提供了一种生物电子芯片及其制作方法，涉及生物检测技术领域。首先基于衬底的一侧制作包含栅电极层的芯片本体，然后基于栅电极层远离衬底的一侧制作缓冲层，再基于缓冲层远离衬底的一侧制作偶联分子层；其中，偶联分子层包括第一酶联分子，最后沿偶联分子层的表面偶联经预处理后的生物分子层，以制作生物电子芯片，其中，经预处理后的生物分子层包括第二酶联分子，第一酶联分子与第二酶联分子之间能够进行可逆反应。本申请提供了一种生物电子芯片及其制作方法具有提升了生物电子芯片的使用寿命，降低了使用成本的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种生物电子芯片及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110672700A
申请号 ：
CN201910995677.6
公开（公告）日 ：
2020-01-10
申请日 ：
2019-10-18
授权号 ：
CN110672700B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
卢瀚仑陈志涛刘宁炀任远梁锡辉
申请人 ：
广东省半导体产业技术研究院
申请人地址 ：
广东省广州市天河区长兴路363号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
董艳芳
优先权 ：
CN201910995677.6
主分类号 ：
G01N27/414
IPC分类号 ：
G01N27/414 H01L29/778
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/18
••••由于被试环境物质的热传导变化引起的电阻
G01N27/26
通过测试电化学变量；用电解或电泳法
G01N27/403
电池和电极组件
G01N27/414
对离子敏感的场效应晶体管或化学场效应晶体管，即ISFETS或CHEMFETS
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2020-02-11 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/414
申请日 : 20191018
申请日 : 20191018
2020-01-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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