指纹识别芯片及其制作方法
公开
摘要
本发明提供一种指纹识别芯片及其制作方法，本发明所提供的指纹识别芯片的制作方法，利用至少一次压印的方式在半导体衬底上制作挡光结构和/或微镜头结构，且所述微镜头结构位于所述挡光结构的中间。解决现有技术中指纹识别芯片的制备方法中工艺步骤较多，工序繁琐，耗费成本较高的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
指纹识别芯片及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114628415A
申请号 ：
CN202011448062.0
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-12-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
夏欢徐磊
申请人 ：
格科微电子（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区张江盛夏路560号2号楼11层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202011448062.0
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146 G06V40/13
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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