一种多片装晶圆剥离花篮

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摘要

本实用新型公开了一种多片装晶圆剥离花篮，涉及晶圆作业技术领域，包括置于超声槽内的花篮下托盘；所述花篮下托盘是承载晶圆的圆柱形体；花篮下托盘上下端面贯通有多个与晶圆尺寸匹配的卡槽；所述卡槽沿花篮下托盘的周向均匀设置；卡槽内沿径向设有镂空的晶圆承载体；晶圆待剥离的一面与晶圆承载体贴合。还包括可拆卸的与所述花篮下托盘扣合的花篮上盖；在所述花篮下托盘的上端面设有多爪弹片；所述多爪弹片为圆形薄片，多爪弹片包括实心的圆片及设在圆片周围的条状挡片；所述挡片与所述卡槽的数量和位置对应。该剥离花篮不仅结构简单合理、剥离后晶圆表面清洁、剥离时晶圆不易滑落，而且剥离花篮在不同溶液间的转换很方便。

基本信息

专利标题：

一种多片装晶圆剥离花篮

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920560679.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-23

授权号：

CN209691733U

授权日：

2019-11-26

发明人：

靳春艳曲迪陈墨白国人闫青芝

申请人：

天津华慧芯科技集团有限公司

申请人地址：

天津市滨海新区生态城中天大道1620号生态科技园启发大厦12层101

代理机构：

天津市鼎和专利商标代理有限公司

代理人：

许爱文

优先权：

CN201920560679.8

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673