一种晶圆片转运花篮
授权
摘要
本实用新型属于晶圆片上料设备技术领域，涉及一种晶圆片转运花篮，包括晶圆片上料设备，其特征在于，还包括两个把手、承载架、两个滑动机构和挡板，两个所述把手分别设置在承载架一侧的上下两端，所述承载架设置在晶圆片上料设备内，所述滑动机构的一端连接承接架，所述滑动机构的另一端连接挡板，所述挡板的一侧两端分别设有第二矩形槽，所述第二矩形槽连接纵向柱另一端的横向柱，本实用新型通过设计一种转运和存放两用的晶圆片花篮，以解决现有技术中晶圆片在不同花篮之间进行转运的过程中可能会造成的损伤和掉落等情况的发生。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆片转运花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020901328.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-25
授权号 ：
CN212010919U
授权日 ：
2020-11-24
发明人 ：
黄栋材
申请人 ：
无锡畅景科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区行创四路89号星洲商务园8#楼102室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020901328.1
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-11-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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