控制系统及压力腔
授权
摘要
本实用新型提供了一种控制系统，包括：控制器、步进电机、凸轮环及传感装置，所述凸轮环上设置有一定位件，当所述步进电机失步时，所述凸轮环以失步轨迹运动，所述传感装置能够感测到所述定位件并产生一失步信号提供给所述控制器，所述控制器根据所述失步信号控制所述步进电机停止工作，利用传感装置实现步进电机的触发式断电，这样既阻止了步进电机因失步造成的凸轮环损坏，又避免了步进电机的电流过载，避免了步进电机及所述控制系统的损坏，提高了工作效率，降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
控制系统及压力腔
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920598948.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-28
授权号 ：
CN209947799U
授权日 ：
2020-01-14
发明人 ：
朱勇栾剑峰王敏磊刘家桦叶日铨
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201920598948.X
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-01-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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