用于陶瓷盘的碳化硅晶片分离存放系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于陶瓷盘的碳化硅晶片分离存放系统，属于碳化硅晶片技术领域。其技术方案为：包括水浴槽、晶片存放盒、红外测温仪和控制系统；所述水浴槽底部设有电阻丝网；所述电阻丝网上设有支撑部，以支撑住陶瓷盘不与电阻丝网接触；所述电阻丝网电连接有电源；所述电源与控制系统电连接；所述红外测温仪设置在水浴槽的上方，且与控制系统电连接。本实用新型采用水浴加热代替传统的电磁加热方式，对陶瓷盘进行加热，解决了陶瓷盘背面的异物长期被加热板加热而粘连在陶瓷盘上不易清除的问题，大大降低了陶瓷盘的清洗难度，保证了陶瓷盘背面无异物残留。
基本信息
专利标题 ：
用于陶瓷盘的碳化硅晶片分离存放系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920709480.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-17
授权号 ：
CN209766375U
授权日 ：
2019-12-10
发明人 ：
郑东王鑫
申请人 ：
青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市高新区河东路383号
代理机构 ：
青岛发思特专利商标代理有限公司
代理人 ：
巩同海
优先权 ：
CN201920709480.7
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2019-12-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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