一种微型芯片转移设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种芯片转移设备，该芯片转移设备包括：控制器、位移打印部件和电场产生部件；控制器分别与位移打印部件和电场发生部件电连接；控制器与电场发生部件电连接，用于控制电场发生部件产生外电场；位移打印部件上设置有多个弹性印模载体，弹性印模载体置于外电场内，用于吸附原始基板上的一一对应的待转移芯片；控制器与位移打印部件电连接，用于控制位移打印部件将待转移芯片由原始基板所在位置处移动至目标基板的目标位置处，并与目标基板进行键合。本实用新型提供了一种芯片转移设备，以解决现有微型芯片转移效率过低的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种微型芯片转移设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920710287.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-17
授权号 ：
CN210245498U
授权日 ：
2020-04-03
发明人 ：
李响张义荣邬剑波顾伟民
申请人 ：
上海九山电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市金山区金山工业区九工路1688号7幢
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN201920710287.5
主分类号 ：
H01L27/15
IPC分类号 ：
H01L27/15 H01L21/67
法律状态
2020-04-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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