本实用新型涉及一种化学气相沉积和扫描电镜联用设备，包括扫描电镜样品室外壳、扫描电镜样品室、电子束镜筒、样品台、温度控制器、加热棒、热电偶、压差光阑和气体注入系统，温度控制器通过控制线与加热棒和热电偶连接，加热棒和热电偶均设置在样品台内；压差光阑位于电子束镜筒出口处；气体注入系统包括气体注入系统外壳和气体管道，气体注入系统外壳固定在扫描电镜样品室外壳上，气体管道固定在气体注入系统外壳内且两端均穿过气体注入系统外壳，气体管道上设有流量计和针阀，气体管道出口侧延伸至样品台上方。该设备可以实现对材料生长过程实时观测其形貌变化，从而精确控制材料生长和揭示材料生长机理，在物理学和材料学领域有很大应用前景。