晶片收集装置
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及半导体晶片物料卸载技术领域,尤其涉及一种晶片收集装置。该晶片收集装置包括承托机构和位置调整机构,所述承托机构包括驱动机构以及两组承托组件,各所述承托组件分别包括至少两个承托件,两组所述承托组件的承托件相对设置且位于同一平面,所述位置调整机构与所述驱动机构相连且能够带动所述驱动机构运动。本实用新型提供的晶片收集装置,能够通过承托组件从晶片底部进行承托运载,有效避免晶片在运载和收集过程中出现衬底从薄膜上脱离的情况发生,进而降低晶片破碎的风险,实现对晶片的安全运载和可靠收集。

基本信息
专利标题 :
晶片收集装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920993047.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-28
授权号 :
CN210467797U
授权日 :
2020-05-05
发明人 :
申兵兵李灯
申请人 :
东泰高科装备科技有限公司
申请人地址 :
北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
李文丽
优先权 :
CN201920993047.0
主分类号 :
H01L21/683
IPC分类号 :
H01L21/683  H01L21/677  H01L21/67  H01L21/68  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-02-09 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/683
登记生效日 : 20210127
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 东泰高科装备科技有限公司
变更后权利人 : 紫石能源有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 102209 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
变更后权利人 : 102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2020-05-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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