一种新型半导体晶圆承载台
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型公开了一种新型半导体晶圆承载台,涉及到半导体领域,包括承载台,承载台的顶部固定连接有多组承载齿,承载齿包括有固定齿和调节齿,承载台的内部开设有调节通道,调节通道的内部活动安装有活动板,调节通道的顶部开设有多个活动槽,活动板的顶部固定连接有多个连接柱,多个连接柱贯穿活动槽并分别与多个调节齿的底部固定连接,调节通道的一端后侧活动安装有齿轮,齿轮的顶部固定连接有摇把。本实用新型通过固定齿和调节齿的中部对晶圆进行支撑,通过固定齿和调节齿之间“Y”字型的夹口设置,能对晶圆进行稳定支撑,通过多组承载齿的设置,能在承载台上稳固定位多个晶圆,使用方便灵活。
基本信息
专利标题 :
一种新型半导体晶圆承载台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921017938.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-02
授权号 :
CN210349793U
授权日 :
2020-04-17
发明人 :
刘家铭张孝仁苏华庭
申请人 :
元鼎丰投资有限公司
申请人地址 :
中国香港租庇利街1号喜讯大厦706室
代理机构 :
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 :
杜梦
优先权 :
CN201921017938.9
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673 H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-09-18 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/673
登记生效日 : 20200831
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 元鼎丰投资有限公司
变更后权利人 : 合肥芯测半导体有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 中国香港租庇利街1号喜讯大厦706室
变更后权利人 : 230000 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号云海路工业园A栋
登记生效日 : 20200831
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 元鼎丰投资有限公司
变更后权利人 : 合肥芯测半导体有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 中国香港租庇利街1号喜讯大厦706室
变更后权利人 : 230000 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号云海路工业园A栋
2020-04-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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