一种晶圆的超声波清洗机
授权
摘要
本实用新型涉及超声波清洗装置领域，公开了一种晶圆的超声波清洗机，包括清洗机主体和清洗试剂出口，所述清洗试剂出口安装在清洗机主体的侧壁上，所述清洗试剂出口上安装有控制阀门，所述清洗机主体内设有用于放置晶圆的放置板，所述放置板上安装有用于对晶圆进行限位的环形限位板，所述放置板和环形限位板上均开设有便于清洗机主体内清洗试剂充分对晶圆进行浸润的限位凸台，所述放置板的下端安装有对其进行升降的伸缩装置，可以将带超声清洗的晶圆放置在放置板上，且放置板可以进行升降，工作人员无需将手放入清洗试剂中，简化操作过程。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆的超声波清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921047027.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-06
授权号 ：
CN210546720U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
黄宗伟刘欣戚传斌
申请人 ：
东莞市顺烁通讯科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市横沥镇隔坑村西环路忠亚科技园A07栋一楼
代理机构 ：
长沙睿翔专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周松华
优先权 ：
CN201921047027.0
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 H01L21/67 H01L21/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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