本实用新型提供了一种硅片检测设备片盒定位底座，包括第一定位块和第二定位块，第一定位块和第二定位块分别预留有供固定螺栓通过的通孔，固定螺栓的螺纹端还穿过通孔固定于片盒平台上；第一定位块为长方体型，第一定位块一侧面的两端还对称设有第一阶梯组；第二定位块包括对称设置的两个第二定位块，第二定位块之间的对称线与第一阶梯组之间的对称线相重合，第二定位块为薄板状，第二定位块上设有第二阶梯组，第二阶梯组与第一阶梯组相对设置，第二阶梯组和第一阶梯组之间还设有供片盒H柱安装的安装间隙，第二阶梯组和第一阶梯组还分别包括多个连续阶梯。本实用新型使H型底座片盒能够牢靠地放置，且适用于不同规格的硅片检测设备片盒。