一种气场均匀的高温气相沉积炉
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种气场均匀的高温气相沉积炉，包括炉盖和炉体，所述炉盖位于所述炉体的上方，所述炉盖和所述炉体均为方体结构，所述炉盖上方的中部设有与所述炉体连通的连接管，所述连接管通过排气管道与真空泵连接；所述炉盖下方设有位于所述炉体内的缓冲架，所述缓冲架为空心圆台结构，所述缓冲架上方的开口位于所述连接管的下方，所述缓冲架下方的内径小于所述炉体的内径，所述缓冲架的架体上均匀分布有通孔。本实用新型采用上述结构的一种气场均匀的高温气相沉积炉，避免炉内气体因为流动空间变径而不均匀、形成气体涡流，增加炉体气场均匀性，提高沉积效率。
基本信息
专利标题 ：
一种气场均匀的高温气相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921151878.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-22
授权号 ：
CN210261975U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
王金铎啜艳明郭宾郭凤祥周倩胡士伟
申请人 ：
保定顺天新材料股份有限公司
申请人地址 ：
河北省保定市涞水县义安镇北义安村
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭栋梁
优先权 ：
CN201921151878.X
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-07-06 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : C23C 16/44
申请日 : 20190722
授权公告日 : 20200407
终止日期 : 20200722
申请日 : 20190722
授权公告日 : 20200407
终止日期 : 20200722
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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