一种高温气相沉积炉体结构
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摘要
本实用新型公开了一种高温气相沉积炉体结构，包括高温炉体、炉口护罩以及炉尾护罩，高温炉体内壁上安装石英管，高温炉体外侧面上设置保温组件，石英管内套接石英衬管，石英管两端均安装进气管，位于炉口处的进气管安装在炉口法兰上，位于炉尾处的进气管一端延伸至石英管内中间位置，进气管一侧的石英衬管内安装热偶套管，炉口护罩安装在炉口法兰一侧，炉口法兰通过炉体把扣环与高温炉体相连接，炉口护罩内壁上安装散热管托板，散热管托板内壁上安装螺旋散热管，高温炉体外表面两侧对称安装炉体支撑一以及炉体支撑二，炉尾护罩安装在炉尾法兰一侧，本实用新型能够提高密封件的密封性和使用寿命，以保证石英管内部的真空度。
基本信息
专利标题 ：
一种高温气相沉积炉体结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920978668.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-26
授权号 ：
CN210261955U
授权日 ：
2020-04-07
发明人 ：
李丙科
申请人 ：
无锡松煜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区硕放街道工业园区五期振发二路16号
代理机构 ：
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄冠华
优先权 ：
CN201920978668.1
主分类号 ：
C23C14/00
IPC分类号 ：
C23C14/00 C23C14/56 C23C16/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
法律状态
2020-04-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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