本实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，具体涉及一种立式高温化学气相沉积炉，包括尾气冷却机构，尾气冷却机构包括冷却箱、箱盖、混合气体进气口、气体排出口、蛇形冷凝管。本实用新型的有益效果：通过惰性气体与尾气的混合，降低了尾气的温度，同时由冷凝管的吸热，进一步加速尾气的冷却，提高尾气冷却效率，另外设置水箱中的常温水，利用水的比热容高的特点，能够持续对冷却箱内的混合气体进行吸热，由于尾气中通常含有杂质，因此设置箱盖可拆卸连接在冷却箱上，使得在作业完毕后，快速打开箱盖，对冷却箱内部进行清理，提升工作效率。