一种多坩埚半连续式碳化硅晶体生长装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种多坩埚半连续式碳化硅晶体生长装置,包括具有第一腔体的第一主体、具有与第一腔体连通的第二腔体的第二主体、用于为第二腔体加热的加热机构、用于为第一腔体和/或第二腔体抽真空的抽真空机构、设于第一腔体中的用于承载多个坩埚的载体、设于第一腔体中的用于驱动载体运动的第一驱动机构、用于驱动坩埚逐一进出第二腔体的第二驱动机构;第一驱动机构用于驱动载体做间歇性运动,将多个坩埚依次输送至与第一腔体和第二腔体的连通处相对齐的第一位置处;第二驱动机构用于在载体停止运动时驱动第一位置处的坩埚使其进出第二腔体。本实用新型一种生长装置缩短了晶体生长时间,提高了生产效率,节约了能耗,有利于优质晶体的生长。
基本信息
专利标题 :
一种多坩埚半连续式碳化硅晶体生长装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921154469.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-22
授权号 :
CN210683997U
授权日 :
2020-06-05
发明人 :
李留臣周正星
申请人 :
江苏星特亮科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港市杨舍镇东莱东黎路8号(星特亮)
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
刘鑫
优先权 :
CN201921154469.5
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36 C30B23/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2020-06-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载