一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构
专利申请权、专利权的转移
摘要
本实用新型提供一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构,包括对称设置的上毛刷组和下毛刷组,上毛刷组包括第一毛刷、第二毛刷,下毛刷组包括第三毛刷和第四毛刷,第一毛刷与第三毛刷对位设置,第二毛刷与第四毛刷对位设置;第一毛刷结构与第三毛刷结构相适配,第二毛刷结构与第四毛刷结构相适配;第一毛刷为圆型结构,第二毛刷为椭圆形结构,第二毛刷的最小半径与最大半径比为1:1.2‑1.5;第一毛刷半径不小于第二毛刷最大半径;在第一毛刷和第二毛刷上均设有若干刷头,刷头以圆心为中心向外分布。本实用新型毛刷结构,解决了容易漏刷的问题,清洗效果好,清洗效率高。
基本信息
专利标题 :
一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921157185.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-23
授权号 :
CN210586015U
授权日 :
2020-05-22
发明人 :
裴坤羽武卫刘建伟由佰玲刘园
申请人 :
天津中环领先材料技术有限公司
申请人地址 :
天津市滨海新区华苑产业园区(环外)海泰东路12号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN201921157185.1
主分类号 :
B08B1/02
IPC分类号 :
B08B1/02 B08B3/02 B08B13/00 H01L21/02 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具,刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/02
运动中工件的清洁,如在传送装置上的成卷织物或物品
法律状态
2022-05-24 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B08B 1/02
登记生效日 : 20220510
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 天津中环领先材料技术有限公司
变更后权利人 : 天津中环领先材料技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 300384 天津市滨海新区华苑产业园区(环外)海泰东路12号
变更后权利人 : 300384 天津市滨海新区华苑产业园区(环外)海泰东路12号
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 中环领先半导体材料有限公司
登记生效日 : 20220510
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 天津中环领先材料技术有限公司
变更后权利人 : 天津中环领先材料技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 300384 天津市滨海新区华苑产业园区(环外)海泰东路12号
变更后权利人 : 300384 天津市滨海新区华苑产业园区(环外)海泰东路12号
变更事项 : 专利权人
变更后权利人 : 中环领先半导体材料有限公司
2020-05-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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