本实用新型提供一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，包括对称设置的上毛刷组和下毛刷组，上毛刷组包括第一毛刷、第二毛刷，下毛刷组包括第三毛刷和第四毛刷，第一毛刷与第三毛刷对位设置，第二毛刷与第四毛刷对位设置；第一毛刷结构与第三毛刷结构相适配，第二毛刷结构与第四毛刷结构相适配；第一毛刷为圆型结构，第二毛刷为椭圆形结构，第二毛刷的最小半径与最大半径比为1：1.2‑1.5；第一毛刷半径不小于第二毛刷最大半径；在第一毛刷和第二毛刷上均设有若干刷头，刷头以圆心为中心向外分布。本实用新型毛刷结构，解决了容易漏刷的问题，清洗效果好，清洗效率高。