本实用新型提供一种大尺寸硅圆片清洗装置，位于硅圆片上下两侧的刷洗单元，包括对位设置的上毛刷组和下毛刷组，刷洗单元用于刷洗硅圆片表面残留砂浆，上毛刷组和下毛刷组同向旋转并带动所述硅圆片转动；位于硅圆片两侧的喷淋单元，置于第一毛刷外侧且位于硅圆片内缘，用于向硅圆片提供喷淋液；位于硅圆片出口方向一侧与硅圆片并行设置的吹气单元，其气流方向与硅圆片水平移动方向相反且倾斜设置，用于吹干硅圆片；置于硅圆片下方的传送单元和置于硅圆片外缘的定位单元。本实用新型清洗装置适用于大尺寸硅圆片，结构合理，操作简单，清洗效果好，缩短清洗时间，环保且安全。