本实用新型公开了一种半导体生产设备，包括壳体，所述壳体的前表面顶部中间位置固定安装有电器柜，且电器柜的前壁设置有操作面板，所述壳体的下表面四周边缘位置均固定安装有垫块，且壳体的前壁底部中间位置垂直固定连接有排液管，所述壳体的外表面顶部位置焊接有沿边，且壳体的后表面底部位置设置有气泵，所述气泵的一侧外壁和上下表面一侧位置均设置有焊接管，且气泵通过焊接管与壳体的后壁位置之间固定连接有导风管，所述壳体的内部底部位置开设有导液腔，且壳体的两侧内壁中间位置均开设有导槽。本实用新型中，生产设备可多有序夹持组半导体且半导体之间相互无影响，提高了烘干速率，同时，烘干质量佳且排液方便。