一种预清洗装置
授权
摘要

本实用新型涉及太阳能电池技术领域,公开一种预清洗装置。该预清洗装置包括上料槽和喷淋装置,上料槽上设置有传输机构,传输机构被配置为传输待清洗硅片,喷淋装置转动设置于传输机构的传输轨迹上,且位于传输机构的上方,喷淋装置上设置有喷淋孔,能够向待清洗硅片的表面喷洒清洗液。通过将喷淋装置设置于传输机构的传输轨迹上,且位于传输机构的上方,能够对待清洗硅片表面残留的切割液、硅粉、氧化硅及其他金属离子等杂质进行清洗;将喷淋装置设置为可转动,使该喷淋装置能够对待清洗硅片的表面进行全面的清洗,以防止待清洗硅片表面残留的杂质在传输过程中风干,降低待清洗硅片在清洗装置中的清洗难度和清洗成本,且清洗效果较好。

基本信息
专利标题 :
一种预清洗装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921359201.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-20
授权号 :
CN210073787U
授权日 :
2020-02-14
发明人 :
王国辉
申请人 :
阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市洛龙科技园赢洲路2号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN201921359201.5
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L31/18  B08B3/02  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-02-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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