粉末棒沉积设备
授权
摘要
本实用新型提供一种粉末棒沉积设备，包括喷灯、沉积室、靶棒及吊杆，所述靶棒的一端连接于所述吊杆端部，所述靶棒伸入所述沉积室，所述喷灯喷射反应气流沉积粉末附着于靶棒上，所述沉积室连通于上部沉积腔体，所述上部沉积腔体包括同轴设置的上部沉积腔体内层和上部沉积腔体外层及盖设在远离沉积室的端部的上部沉积腔体端盖，其中上部沉积腔体内层用以容纳粉末棒上提空间，上部沉积腔体外层用于外部气体的灌入。本实用新型设计将上部腔体分为内外两层，有效将粉末棒容纳空间和气体进入腔体分离，避免随着粉末棒增加，容纳空间变小，造成沉积腔体中的气流紊乱，粉末棒的棒径产生波动。
基本信息
专利标题 ：
粉末棒沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921442847.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-30
授权号 ：
CN211078918U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
钱宜刚吴椿烽沈一春薛驰薛济萍
申请人 ：
中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市开发区中天路3号
代理机构 ：
深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈海云
优先权 ：
CN201921442847.X
主分类号 ：
C03B37/014
IPC分类号 ：
C03B37/014
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03B
玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺
C03B37/00
由软化的玻璃、矿物或渣制的絮片、纤维或细丝的制造或处理
C03B37/01
玻璃纤维或细丝的制造
C03B37/012
拉制纤维或细丝用预制棒的制造
C03B37/014
完全或部分用化学方法制造
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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