一种可减少断棱的单晶炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种可减少断棱的单晶炉,涉及单晶炉技术领域,由上往下依次包括上炉筒、副室、炉盖、主炉室和下炉室,所述主炉室内设置有导流筒,所述炉盖上设置有用于将氩气通入主炉室内的氩气管道,所述氩气管道上开设有出气孔且所述出气孔位于导流筒内侧。本实用新型改变了氩气管道的设置位置,将氩气管道设置在主炉室内,不仅避免氩气将副室内的碳颗粒、硅粉等其它杂质带入熔硅中造成断棱,而且避免了氩气在炉内不同构造中形成气旋而影响温度,有利于拉晶,减少了拉晶过程中的异常比例,减少了断线率。
基本信息
专利标题 :
一种可减少断棱的单晶炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921452845.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-03
授权号 :
CN210886309U
授权日 :
2020-06-30
发明人 :
孟涛王海庆姚亮
申请人 :
包头美科硅能源有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号
代理机构 :
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
任立
优先权 :
CN201921452845.9
主分类号 :
C30B15/00
IPC分类号 :
C30B15/00 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
法律状态
2020-06-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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