一种钻石晶体生长设备的自动化监测装置
授权
摘要

本实用新型涉及钻石晶体生长技术领域,且公开了一种钻石晶体生长设备的自动化监测装置,包括地板,所述地板顶部活动连接有钻石晶体生产设备,所述地板顶部活动连接有位于钻石晶体生产设备右侧的收纳柜,所述收纳柜底部左右两侧均固定安装有数量为两个的车轮,所述收纳柜左侧固定安装有电动丝杆,所述电动丝杆外传动连接有丝杆螺母。该钻石晶体生长设备的自动化监测装置,解决了目前在钻石晶体生长过程中需要用到微波发生器来确保等离子体状态的稳定,保证单晶生长的过程不被气流、气压、气体成分或电压的波动干扰而中断,但是微波发生器会产生辐射,如果微波泄漏会给周围的操作人员带来安全隐患的问题。

基本信息
专利标题 :
一种钻石晶体生长设备的自动化监测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921543630.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-17
授权号 :
CN210560874U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
张新峰王炜
申请人 :
江苏卓远半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省南通市如皋高新区城南街道电信东一路6号
代理机构 :
成都明涛智创专利代理有限公司
代理人 :
丁国勇
优先权 :
CN201921543630.8
主分类号 :
C30B23/00
IPC分类号 :
C30B23/00  C30B29/04  G01N22/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B23/00
冷凝气化物或材料挥发法的单晶生长
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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