本实用新型公开了一种半导体晶圆加工用单晶硅炉，包括金属上盖和硅炉炉体，所述金属上盖安装固定在硅炉炉体的上端位置上，所述金属上盖的上端中间设置有金属顶柱，通过套接金属环、固定螺钉和锥形外壳所组成的锥形导向罩可以很好的固定外部单晶硅棒，在插入外部单晶硅棒的时候，锥形导向罩通过倒装的锥形外壳，从而便于插入，而插入之后，通过下发收紧的圆孔，使得可以很好的限制，这样在转动的时候，可以很好的防止单晶硅棒的剧烈晃动，而固定时，因套接金属环通过固定螺钉连接在绝缘装置上，这样可以很好的固定安装拆卸，从而便于人员根据外部单晶硅棒进行更换使用，使得在使用的时候更加便利。