一种半导体元件用清洗装置
授权
摘要
一种半导体元件用清洗装置，属于半导体元件清洗技术领域，该半导体元件用清洗装置，包括支撑框架以及支撑框架内设置的承载半导体元件的承托部件和将半导体元件的两端定位的定位部件，定位部件沿支撑框架的长度方向设置有多个，且定位部件沿支撑框架的长度方向滑动定位配合，本实用新型的有益效果是，该清洗装置整体结构简单，使用方便，通用性强，使半导体元件定位稳定，使半导体元件与清洗药水充分接触，提高了清洗效果。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体元件用清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921706228.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-12
授权号 ：
CN210936181U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
罗艳玲龚秀友王敬
申请人 ：
芜湖启迪半导体有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市弋江区高新技术产业开发区服务外包园3号楼1803
代理机构 ：
芜湖安汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
孟迪
优先权 ：
CN201921706228.7
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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