用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，其包括：旋转支架以及驱使所述旋转支架转动的驱动机构，其中，所述旋转支架包括支架主体以及可拆卸地设置于所述支架主体上的至少一个悬挂杆，所述悬挂杆上设置有至少一个悬挂凹槽，所述的垫片零件能够套设在所述悬挂杆的悬挂凹槽处。本实用新型提供的用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统，结构简单，使用方便；可以保证垫片零件所有部位都能镀膜，且工作面膜厚均匀，薄膜纳米硬度和结合力不均匀性小，可以最大限度的增大装炉量且拆装方便，大大提高了镀膜的效率。
基本信息
专利标题 ：
用于垫片零件物理气相沉积镀膜的工装系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921719223.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-14
授权号 ：
CN210711728U
授权日 ：
2020-06-09
发明人 ：
郭武明王永欣李金龙王海新张景文管文王立平
申请人 ：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请人地址 ：
浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
代理机构 ：
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
赵世发
优先权 ：
CN201921719223.8
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35 C23C14/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-06-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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