去膜装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种去膜装置，包括：设置有出液口的槽体；设置在所述槽体中的支架，用于放置待去膜电池片；药液池，用于存放去膜溶液；第一喷头，用于将去膜溶液喷洒在待去膜电池片上；抽液泵，设置在药液池与第一喷头之间，用于将药液池的去膜溶液泵至第一喷头；控制器，与抽液泵相连，用于根据去膜控制指令对抽液泵进行控制。该装置可以简化返工工序，降低返工成本，提高产能。

基本信息

专利标题：

去膜装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921737954.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-16

授权号：

CN211479986U

授权日：

2020-09-11

发明人：

叶晓亚曹芳邹帅王栩生邢国强

申请人：

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区鹿山路199号

代理机构：

北京景闻知识产权代理有限公司

代理人：

卢春燕

优先权：

CN201921737954.5

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67 H01L31/18 C30B33/10 C09K13/00

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

法律状态

2021-02-23 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更后 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更后 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司

2020-09-11 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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